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　　院士：尤政

　　亮點：在國內(nèi)率先開展微納技術(shù)及其空間應(yīng)用研究，率先開展微衛(wèi)星技術(shù)創(chuàng)新與工程實踐

　　2017年9月，尤政院士工作站揭牌成立。尤政院士工作站是由山東省科技廳與淄博高新區(qū)MEMS研究院聯(lián)合共建，旨在發(fā)揮中國工程院院士尤政及其團隊在國內(nèi)外MEMS領(lǐng)域的領(lǐng)軍作用，凝聚高端智力，推動淄博高新區(qū)、淄博市的MEMS和集成電路產(chǎn)業(yè)跨越式發(fā)展。

　　尤政院士是我國機械電子工程專家，在國內(nèi)率先開展微納技術(shù)及其空間應(yīng)用研究，率先開展微衛(wèi)星技術(shù)創(chuàng)新與工程實踐。尤政院士工作站建站以來，助力淄博高新區(qū)企業(yè)不斷開展技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，推動高新區(qū)產(chǎn)業(yè)升級轉(zhuǎn)型。

　　在人才聚集效應(yīng)方面，該院士工作站吸引了大量高層次人才入駐，形成了一支以尤政院士為核心、由清華大學(xué)研究員周斌、北京大學(xué)教授楊振川、北京科技大學(xué)教授滕蛟等30余名國內(nèi)外知名專家組成的科研團隊。

　　在科研成果方面，該院士工作站開發(fā)了180余項核心工藝和3種成套體硅加工標(biāo)準(zhǔn)工藝;自研出MEMS繼電器、壓阻式壓力計、高溫惡劣環(huán)境用溫度傳感器等;開發(fā)基于SOG工藝器件(MEMS陀螺儀、MEMS加速度、MEMS繼電器等)用的圓片級封裝技術(shù)和MEMS先進集成三維異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)，在國內(nèi)外發(fā)表高水平文章27篇，獲得國家授權(quán)發(fā)明專利21項。

　　在產(chǎn)學(xué)研結(jié)合方面，該院士工作站舉辦首屆中國(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略高峰論壇，淄博高新區(qū)MEMS研究院硅微機械陀螺、加速度計、繼電器等產(chǎn)品下線，同時，舉行了新型MEMS繼電器研制項目等10個合作項目的簽約儀式;鏈接清華大學(xué)、北京大學(xué)、北京科技大學(xué)、中國科學(xué)院等高校和研究機構(gòu)，先后成立新材料與工藝中心、仿真與設(shè)計中心、集成測試中心，為拉動區(qū)域人才聚集和促進當(dāng)?shù)匦屡f動能轉(zhuǎn)換提供新引擎。